1.分辨率与脉冲当量 分辨力是指两个相邻的分散细节之间可以分辨的最小间隔。对观测系统而言，分辨力是可以测量的最小增量：对控制系统而言，分辨力是可以控制的最小唯一位移量，最精密的数控系统的分辨力已达0.001um。数控装置每发出一个脉冲信号，反应到机床移动部件上的移动量，称为脉冲当量。脉冲当量是设计数控机床的原始数据之一，其数值大小决定数控机床的极爱工精度和表面质量。脉冲当量越小。数控机床加工精度越高，加工表面质量越好。简易数控机床的脉冲当量为0.01mm，普通数控机床的脉冲当量为1um，精密度或超精精密数控才的脉冲当量为0.1um
2.定位精度与重复定位精度 定位精度是指数控机床工作台等移动部件在确定的终点所达到的实际位置的精度，因此移动部件实际与理想位置之间的误差成为定位误差。定位误差包括伺服系统，检测系统，进给系统等误差，好包括移动部件导轨的几何误差等，定位误差将直接影响零件加工的位置精度。
重复定位精度是指在同一台数控机床上，应用相同程序、相同代码加工一批零件，所得到连续结果的一致程度，重复定位精度受伺服系统特性、进给系统的间隙与刚性以及摩擦特性等因素的影响，一般情况下，重复定位精度是成正太分布的偶然性误差，它影响一批零件加工的一致，是一项非常重要的性能指标。
3.分度精度 分度精度是指分度工作台在分度时，理论时要求回转的角度值和实际回转角度值的差值、生产效率以及刀具寿命的主要因素之一，同时还会对孔系加工的同轴度等造成一定的影响。
